이온 진공 코팅기의 시작{0}}및 작동 절차에 대한 설명

Mar 12, 2026

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PVD magnetron sputtering coating machine

 

(1) 이온 진공 코팅기의 모든 제어 스위치가 "꺼짐" 위치에 있는지 확인하십시오.

(2) 주전원 스위치를 켜서 이온 진공 코팅기의 전원을 켭니다.

 

(3) 저압 밸브를 당겨 빼냅니다-. 팽창 밸브를 엽니다. 공기 흐름이 들리지 않으면 벨{3}}상승 밸브를 작동하여 벨을 올립니다.

(4) 텅스텐 스파이럴 히터를 설치하고 고정합니다. PVDF 필름과 알루미늄 커버 플레이트를 회전 디스크에 고정합니다. 알루미늄 와이어를 나선형 히터에 끼워 넣습니다. 벨 내부의 모든 부품을 청소하여 불순물이나 먼지가 없는지 확인하십시오.

 

(5) 벨을 내립니다.

(6) 이온진공코팅기의 진공펌프를 가동시킨다.

 

(7) 복합 진공 게이지(복합 진공 게이지 모델: Fzh-1A)의 전원을 켭니다.

(8) 저진공 게이지 "2"의 포인터가 다시 시계 방향으로 6.7 Pa로 이동하면 저-압력 밸브를 밀어 넣습니다.

 

(9) 냉각수를 켜고 이온진공코팅기의 확산펌프를 가동하여 40분간 가열한다.

 

(10) 저압 밸브를-당깁니다. 수직형 단일-도어 코팅기의 경우 작업 절차 ⑦을 한 번 반복합니다. 왼쪽 하단 손잡이 "1"을 섹션 2의 측정 위치로 돌립니다. 저진공 게이지 "2" 내부의 포인터가 시계 방향으로 이동합니다. 포인터가 6.7Pa로 이동하면 고압-압력 밸브를 엽니다.

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