코팅 될 기판을 기판이라고하며 코팅 될 재료를 대상이라고합니다. 기질과 표적은 동일한 진공 챔버에있다.
증발 코팅은 일반적으로 표면 성분이 원자 그룹 또는 이온의 형태로 증발되도록 표적을 가열합니다. 그리고 그것은 기판의 표면에 정착하고 필름 형성 과정 (산란 된 포인트-아일랜드 구조-바이 갈 구조 레이어 성장)을 통해 박막을 형성한다. 스퍼터링 코팅의 경우, 전자 또는 고 에너지 레이저로 대상을 폭격하고 원자 그룹 또는 이온의 형태로 표면 성분을 스퍼터링하고 마지막으로 기판 표면에 증착하고 필름 형성 과정을 겪고 마침내 박막을 형성하는 것으로 이해할 수 있습니다.
