진공 코팅 기계의 코팅 공정에서 몇 가지 일반적인 이온 공급원

공작물의 접착력, 결합력 및 필름 구조를 개선하기 위해, 많은 진공 코팅 기계에는 코팅 공정 동안 이온 공급원이 장착되어 있습니다.
많은 유형의 이온 공급원이 있지만, 그들의 목적은 온라인 청소에 지나지 않아, 반응 가스의 에너지를 증가시키기 위해 도금 된 표면의 에너지 분포와 조절을 개선합니다. 이온 소스는 필름과 기질 사이의 결합 강도를 크게 향상시킬 수 있으며 필름 자체의 경도와 내마모성을 향상시킬 수 있습니다. 전기 도구 공구의 내마비 층이 일반적으로 더 두껍고 필름 두께 균일 성이 높지 않은 경우, 더 큰 이온 전류 및 홀 이온 소스 또는 양극 이온 소스와 같은 더 높은 에너지 레벨을 갖는 이온 소스가 사용될 수 있습니다.
양극 층 이온 소스의 원리는 홀 이온 소스의 원리와 유사합니다. 환형 (직사각형 또는 원형) 좁은 슬릿이 향상된 자기장으로 첨가되고, 작동 가스는 이온화되어 양극의 작용하에 공작물로 방출된다. 양극 층 이온 소스는 매우 크고 길게 만들 수 있으며, 이는 특히 건축 유리와 같은 큰 부품의 전기 도금에 적합합니다. 양극 층 이온 소스의 이온 전류도 크다. 그러나 이온 흐름이 발산되고 에너지 수준 분포가 너무 넓습니다. 일반적으로 대형 워크 피스, 유리, 내마모 및 장식 워크 피스에 적합합니다. 그러나 고급 광학 코팅에는 적용이 많지 않습니다.
이 진공 코터는 양극과 강한 축 자기장이 함께 작동하여 공정 가스를 이온화하는 홀 이온 소스가 장착되어 있습니다. 축 자기장의 강한 불균형은 가스 이온을 분리하여 이온 빔을 형성합니다. 축 자기장이 너무 강하기 때문에 홀 이온 소스 이온 빔에는 이온 흐름을 중화시키기 위해 전자가 보충되어야합니다. 일반적인 중화 소스는 텅스텐 필라멘트 (음극)입니다.