1. 표준 환경 조건: 온도 20도, 상대 습도 65%, 대기압 101325 Pa.
2. 가스의 표준 상태: 온도 0도, 압력 101325 Pa.
3. 압력(강도): 해당 평면의 양의 법선 방향을 따라 가상 평면을 통과하는 가스 분자의 운동량 변화율을 해당 평면의 면적으로 나눈 값입니다. 또는 용기 표면에 가스 분자가 가하는 힘의 일반 성분을 표면적으로 나눈 것입니다.
4. 파스칼(기호: Pa): SI 압력 단위, 1 Pa=1 N/m².
5. 부분 압력: 가스 혼합물의 특정 구성 요소의 압력입니다.
6. 총 압력: 가스 혼합물의 모든 구성 요소에 대한 압력의 합입니다.
7. 진공: 지정된 공간 내에서 1기압 이하의 기체 상태입니다.
8. 진공도: 진공 조건 하에서 가스의 희박화로, 일반적으로 압력 값으로 표시됩니다.
9. 가스(Gas) : 분자간 힘에 얽매이지 않고 어떤 공간이든 자유롭게 점유할 수 있는 물질. (참고: 진공 기술에서 "가스"라는 용어는 비응축성 가스 및 증기에 엄격하게 적용되지 않습니다.-
10. 비-응축성 가스: 임계 온도 이상의 가스, 즉 단순히 압력을 높여도 액화될 수 없는 가스입니다.
11. 증기: 임계 온도 이하의 가스. 즉, 압력을 높이면 액화될 수 있는 가스를 의미합니다.
12. 포화 증기압: 증기와 응축상이 상평형에 있을 때 주어진 온도에서 물질의 증기압.
13. 포화도: 포화 증기압에 대한 증기압의 비율.
14. 포화 증기: 압력이 포화 증기압과 동일한 특정 온도의 증기입니다.
15. 불포화 증기: 주어진 온도에서 압력이 포화 증기압보다 낮은 증기.
16. 분자수 밀도(단위: m⁻³): 주어진 순간에 가스의 한 지점을 둘러싸는 부피의 분자 수를 생성물로 나눈 값입니다.
17. 평균 자유 경로(Mean Free Path): 분자가 다른 가스 분자와 두 번 연속 충돌하여 이동하는 거리를 자유 경로라고 합니다. 상당수의 서로 다른 자유 경로의 평균을 평균 자유 경로라고 합니다.
18. 충돌률: 주어진 시간 간격 내에서 다른 가스 분자(또는 다른 정의된 입자)와 관련하여 분자(또는 다른 정의된 입자)가 경험하는 평균 충돌 횟수를 해당 시간으로 나눈 것입니다. 이 평균 충돌 횟수는 충분히 많은 수의 분자와 충분히 긴 시간 간격을 사용하여 얻어야 합니다.
19. 체적 충돌률(Volumetric Collision Rate): 주어진 시간 간격 내 특정 지점 주변의 공간 범위 내 가스 분자 간의 평균 충돌 횟수를 해당 시간과 해당 공간 범위의 부피로 나눈 것입니다. 시간 간격과 볼륨이 너무 작아서는 안됩니다.
20. 기체량(Gas Quantity): 평형 상태의 이상 기체가 차지하는 부피와 그 압력의 곱. 이 값은 가스 온도를 지정하거나 20도 값으로 변환되어야 합니다. (참고: 가스의 양은 해당 가스가 차지하는 부피에서 가스의 고유 에너지(또는 위치 에너지)의 2/3를 나타냅니다.)
21. 가스 확산: 농도 구배로 인해 다른 매체에서 가스가 이동하는 것입니다. 매체는 다른 가스(이 경우 확산을 상호 확산이라고 함) 또는 응축 가능한 물질일 수 있습니다.
22. 확산 시스템: 단위 면적당 질량 유량의 절대값과 단위 면적당 일반 농도 구배의 비율입니다.
23. 점성 흐름: 가스 분자의 평균 자유 경로가 덕트의 최소-단면 크기보다 훨씬 작은 흐름 상태입니다. 따라서 흐름은 가스의 점도에 따라 달라집니다. 점성 흐름은 층류 또는 층류일 수 있습니다.
24. 점도 계수: 속도 구배에 대한 가스 속도 구배 방향의 단위 면적당 접선력의 비율입니다.
25. 포아송 흐름: 층류-점도 흐름은 단면이 원형인 긴 덕트를 통과합니다.-
26. 중간 흐름: 층류와 분자 흐름 사이의 상태에서 도관을 통한 가스 흐름.
27. 분자 흐름: 가스 분자의 평균 자유 경로가 도관의 최대-단면적보다 훨씬 큰 흐름.
28. 크누스 수: 도관 직경에 대한 가스 분자의 평균 자유 행로의 비율.
29. 분자 유출로: 가스가 벽이 얇은 오리피스를 통해 흐를 때 흐르는 흐름으로, 분자의 평균 자유 경로가 오리피스 크기보다 훨씬 큽니다.
30. 탈출(Escape): 압력 차이로 인해 다공성 물질을 통과하는 가스 흐름.
31. 열 방출: 분자 흐름에서는 온도 차이로 인해 연결된 두 용기 사이에 가스 흐름이 발생합니다. 가스 수송이 평형에 도달하면 두 용기 사이에 압력 구배가 형성됩니다.
32. 분자유량(Molecular Flow Rate): 주어진 시간 간격 내에서 주어진 방향으로 표면을 통과하는 분자 수와 반대 방향으로 표면을 통과하는 수의 차이를 시간으로 나눈 것입니다.
33. 분자 유속 밀도: 분자 유속을 표면적으로 나눈 값입니다.
34. 질량 유량: 주어진 시간 간격 내에 단면을 통과하는 가스의 질량을 시간으로 나눈 값입니다.{1}}
35. 유량: 주어진 시간 간격 내에 단면을 통과하는 가스의 양을 시간으로 나눈 값입니다.{1}}
36. 체적 유량: 주어진 온도, 압력 및 시간 간격 조건에서 단면을 통과하는 가스의 양을 해당 시간으로 나눈 값입니다.{1}}
37. 주어진 시간 간격 내에 주어진 단면적을 통과하는 가스의 몰수를 해당 시간으로 나눈 값입니다.{1}}
38. Maxwell 속도 분포: Maxwell-Boltzmann 속도 분포 함수에 의해 결정되는 속도 분포입니다. 즉, 주어진 온도에서 용기 벽까지의 거리가 분자의 평균 자유 경로보다 클 때 평형 상태에 있는 기체 분자의 속도 분포입니다.
39. 수송 확률(Transport Probability): 도관의 입구로 무작위로 들어간 분자가 출구를 통해 나갈 확률입니다.
40. 분자 전도도: 파이프의 지정된 두 단면- 또는 오리피스를 통해 흐르는 가스의 분자 전도성으로, 파이프의 두 단면 또는-오리피스 사이의 평균 분자 수 밀도 차이에 대한 분자 유속의 비율로 표현됩니다.
41. 전도도: 등온 조건에서 도관이나 오리피스의 지정된 두 단면에 걸친 평균 압력 차이에 대한 도관이나 오리피스를 통과하는 가스의 유속 비율입니다.
42. 고유 전도성: Maxwell 속도 분포가 컨테이너에서 지배적인 조건에서 두 개의 컨테이너를 연결하는 도관(또는 오리피스)의 전도성. 분자 흐름 조건에서 이는 입구 전도도와 전달 확률의 곱과 같습니다.
43. 흐름 저항: 전도도의 역수.
44. 흡착: 고체나 액체(흡착제)가 가스나 증기(흡착물)를 포획하는 것입니다.
45. 표면 흡착: 고체 또는 액체(흡착제) 표면에 가스 또는 증기(흡착물)가 흡착되는 현상입니다.
46. 물리흡착: 물리적 과정으로 인한 흡착.
47. 화학 흡착: 화학 공정으로 인한 흡착.
48. 흡수: 기체나 증기(흡착물)가 고체나 액체(흡착제) 내부로 확산되는 현상.
49. 적합 계수: 입자가 표면의 완전한 열 평형에 도달하기 위해 교환해야 하는 평균 에너지에 대한 표면과 표면에 입사하는 입자 사이에 실제로 교환되는 평균 에너지의 비율입니다.
50. 입사율: 주어진 시간 간격 내에 표면에 입사하는 분자 수를 해당 시간과 표면적으로 나눈 값입니다.50. 입사율: 주어진 시간 간격 내에 표면에 입사하는 분자 수를 해당 시간과 표면적으로 나눈 값입니다.
51. 응축율: 주어진 시간 간격 내에서 주어진 표면적에 응축된 분자(또는 물질의 질량) 수를 해당 시간과 해당 표면적으로 나눈 것입니다.
52. 접착률: 주어진 시간 간격 내에 표면에 흡착된 분자 수를 해당 시간과 표면적으로 나눈 것입니다.
53. 접착 확률: 입사율에 대한 접착률의 비율입니다.
54. 체류 시간: 분자가 표면에 흡착된 상태로 갇혀 있는 평균 시간입니다.
55. 이동(Migration): 표면 위의 분자 이동.
56. 탈착(Desorption): 물질에 흡착된 가스나 증기의 방출. 방출은 자연스럽거나 물리적인 방법으로 가속화될 수 있습니다.
57. 탈기(Degassing): 물질로부터 가스를 인공적으로 탈착하는 것.
58. 탈기(Degassing): 물질로부터 가스가 자연적으로 탈착되는 것.
59. 탈착, 탈기 또는 가스 제거 속도: 주어진 시간 간격 내에 재료에서 탈착(또는 탈기)된 가스의 유속(또는 분자 유속)을 해당 시간과 해당 표면적으로 나눈 것입니다.
60. 증발률: 주어진 시간 간격 내에 표면에서 증발된 분자(또는 물질의 질량) 수를 해당 시간과 표면적으로 나눈 것입니다.
61. 침투(Permeation): 가스가 고체 장벽층을 통과하는 현상. 이 현상에는 고체를 통한 가스 확산이 포함되며, 다른 표면 현상도 포함될 수 있습니다.
62. 투과성: 정상 흐름 조건에서 장벽층(예: 용기 벽)을 통과하는 가스의 유속을 장벽층 양쪽의 압력 함수로 나눈 것입니다. 이 기능의 형태는 실제 투과와 관련된 물리적 과정에 따라 달라집니다.
63. 투과성 계수: 투과성과 차단층 두께의 곱을 투과성 표면적으로 나눈 값입니다.
위의 내용은 일반적인 내용을 요약한 것입니다.진공 코팅 장비업계 용어. 진공 산업에 진출하려면 이러한 용어를 숙지하는 것이 필수적이므로 이 정보가 도움이 되기를 바랍니다.
