멀티 아크 코팅 기계의 작동 원리

다중 ARC 코팅 기계는 다수의 아크 소스 (4-16)를 통해 고온 혈장을 생성하고, 금속 재료를 증발시켜 기판 표면에 퇴적하여 효율적인 코팅 (필름 두께 균일 성 ± 5%)을 달성합니다. 그의 코어 진공 챔버는 코팅 챔버 (10^-3PA보다 작거나 동일) 및 전처리 챔버로 나뉩니다. 전자는 낮은 영향 환경을 보장하고 후자는 기판 세정 및 연마에 사용되어 접착력을 향상시킨다. 주요 프로세스 매개 변수에는 아크 소스 전력 (20-200A), 기판 온도 (100-300도) 및 증착 속도 (1-10nm/s)가 포함되며, 이는 기판 모양 (복잡한 곡선 표면) 및 재료 (금속/세라믹)에 따라 동적으로 조정해야합니다. 광학 렌즈 방지 필름 및 공구 하드 코팅과 같은 장면에 적합합니다.