진공 코팅 생산 라인은 고도로 특수화 된 제조 시스템으로, 주로 유리, 플라스틱, 금속, 세라믹, 반도체 웨이퍼 등과 같은 극도로 얇은 기능 필름의 하나 이상의 층을 증착하는 데 주로 사용됩니다.
그것의 핵심은 진공 청소기 환경에서 다양한 물리적 방법을 통해 코팅 재료를 기화 시키거나 이온화 한 다음 기판 표면의 필름에 응축하는 것입니다.
응용 프로그램 :
전기 성분 세라믹 및 회로 보드 세라믹의 표면에 구리,은 및 기타 전도성 재료의 진공 코팅.
또한 다른 플레이트와 같은 워크 피스 (유리, 아크릴 보드 등)의 표면에 다양한 금속 필름 층의 진공 증착에 적합합니다.
주요 기능:
자기장은 혈장을 제한합니다
이것은 Magnetron Sputtering의 핵심 기능입니다. 대상 표면 근처에 특정 모양 (일반적으로 고리 또는 경마장 모양)의 강한 자기장을 적용함으로써, 전자는 표면 근처에 제한되어 나선 운동을 만들어 작동 가스 (일반적으로 아르곤) 원자와 전자의 충돌 가능성 및 이온화 가능성이 크게 증가합니다.
높은 이온화 속도 및 높은 증착 속도
자기장 구속은 혈장 밀도 및 이온화 속도를 크게 증가시켜 스퍼터링 공정을보다 효율적으로 만듭니다.
이는 상대적으로 낮은 가스 압력과 낮은 스퍼터링 전압/전력에서 기존의 DC 스퍼터링보다 훨씬 높은 스퍼터링 및 증착 속도를 달성 할 수 있음을 의미합니다.
저온 공정
대부분의 에너지는 가스 및 스퍼터 표적 원자를 이온화하는 데 사용되기 때문에 비교적 적은 열이 기판으로 전달됩니다.
좋은 영화 품질
좋은 밀도, 강한 접착력, 고순도 및 균일 성.
광범위한 재료 적응성
우수한 프로세스 제어 가능성
Magnetron Sputtering Coating Production Line은 기능적 박막 (예 : 광학 필름, 전도성 필름, 장식적인 필름, 장식용 필름, 방지 필름, 자기 필름, 자기 필름, 반도체 필름 등)을 준비하기위한 주류 기술 중 하나가되었습니다. 접착력), 넓은 재료 적응성, 우수한 균일 성 및 제어 성. 마이크로 전자 공학, 평면 패널 디스플레이, 태양 전지, 공구 코팅, 자동차 부품, 포장, 장식, 광학 장치 및 기타 필드에 매우 광범위한 응용 프로그램이 있습니다.
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