수직 마그네트론 스퍼터링 코팅 라인

수직 작은 마그네트론 스퍼터링 진공 코팅 라인은 소형 공간에서 고품질 박막 증착을 달성하는 고급 장비입니다. R & D, 중소형 배치 생산 및 고 부가가치 제품에 특히 적합합니다.

유리, 세라믹 및 플랫 제품의 표면에 니켈 및 구리와 같은 금속 필름의 증착.

수직 구조
높은 공간 활용 :

챔버, 진공 시스템, 변속기 메커니즘 등은 수직으로 쌓여 있으며, 점유 된 바닥 공간은 수평 장비보다 훨씬 작으며, 특히 공간이 제한된 실험실 또는 소규모 워크샵에 적합합니다.

적은 입자 오염
중력은 공정 중에 생성 된 입자가 바닥에 떨어지고 기판 표면에 부착 할 가능성이 적어 더 깨끗한 필름을 얻는 데 도움이됩니다.

유연한 기판 하중 :
일반적으로 매달린 바구니, 트레이 또는 회전 기판 랙이 사용되므로 여러 조각 또는 균일 한 코팅의 동시 코팅을 쉽게 달성 할 수 있습니다.

비교적 편리한 유지 보수 :
주요 구성 요소 (예 : 대상, 기판 랙)는 일반적으로 전면 또는 측면에서 유지할 수 있습니다.

소형화
낮은 투자 비용 :

장비 구매, 설치 및 공장 리노베이션 비용 (깨끗한 실, 전기 및 물 냉각 비용)은 대형 산업용 라인의 비용보다 훨씬 낮습니다.

낮은 운영 비용 :

빠른 진공 청소기 (작은 챔버 부피), 가스 소비가 낮고 전기 소비가 낮습니다.

높은 유연성 :

대상 재료를 쉽게 교체하고 프로세스 매개 변수를 조정하며 다른 코팅 작업간에 빠르게 전환 할 수 있습니다. 다변성, 소규모 배치 생산 또는 R & D 시험 생산에 매우 적합합니다.

통합 및 업그레이드가 쉽습니다.

기존 실험 라인 또는 소규모 생산 환경에 쉽게 통합 될 수 있으며 기능을 확장하는 것이 더 쉽습니다.

마그네트론 스퍼터링 기술
높은 증착 률 :

자기장은 전자에 결합하고 이온화 효율을 향상시켜 스퍼터링 및 증착 속도가 높아집니다.

좋은 영화 품질 :

금속, 합금, 산화물, 질화물, 탄화물 등의 밀도가 높고 균일하고 접착 성 필름을 생성 할 수 있습니다.

우수한 프로세스 제어 성 :

가스 압력, 전력, 가스 비율 (반응성 스퍼터링), 기판 바이어스 등과 같은 파라미터를 정확하게 제어함으로써 필름의 조성, 구조, 두께 및 성능을 잘 제어 할 수 있습니다.

진공 코팅
순수한 환경 :

대기 오염을 피하고 필름의 순도와 성능을 보장하기 위해 높은 진공 환경에서 수행됩니다.

널리 적용 가능한 재료 : 거의 모든 고체 재료 (금속, 반도체, 세라믹, 플라스틱 등)는 표적 또는 기질로 사용될 수 있습니다.