전기 제어 캐비닛의 작동
1. 워터 펌프와 가스 공급원을 켭니다.
2. 주 전원 공급 장치를 켭니다.
3. 유지 보수 펌프 및 진공 게이지의 전원 공급 장치와 진공 게이지 위치 V1 위치를 켭니다. 다음 단계에 들어가기 전에 그 가치가 10 미만이 될 때까지 기다리십시오. 약 5 분이 걸립니다.
4. 기계식 펌프를 켜고, 사전 펌프를 켜고, 터보 분자 펌프 전원 공급 장치를 켜서 시작하십시오. 진공 게이지 스위치를 V2 위치로 전환하고 2 미만이 될 때까지 펌핑하십시오. 약 20 분이 소요됩니다.
5. 터보 분자 펌프 판독 값이 250에 도달 한 후 프리 펌프를 끄고 전면 펌프 및 고 진공 밸브를 켜서 진공 청소기를 계속하십시오. 진공이 특정 수준에 도달 한 후, 오른쪽의 높은 진공 게이지를 켜서 진공 정도를 관찰 할 수 있습니다. 전자 총 전원 공급 장치는 진공이 2 × 10-3에 도달 한 후에 만 켜질 수 있습니다.
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1 메인 전원 공급 장치.
2. 전자 총기 제어 및 전자 총기 제어의 전력을 켜십시오. 동시에 : 전자 총기 제어의 전력 및 지연 스위치를 누르고, 지연, 전원 및 보호 조명이 밝아지면 지연 및 보호 조명이 3 분 후에 진행됩니다. 후면 도어가 닫히지 않거나 물 흐름 릴레이에 결함이있는 경우 보호 표시등이 항상 켜져 있습니다.
3. 고전압을 켜면 고전압이 10kV 이상, 빔 전류를 약 200MA로 조정하고 커튼 그리드는 20V/100MA, 필라멘트 전류는 1.2A이며, 처짐 전류 스윙은 1과 1.7 사이입니다.
종료 시퀀스
1. 높은 진공 게이지와 분자 펌프를 끄십시오.
2. 분자 펌프가 50을 표시하면 높은 밸브, 전면 스테이지 및 기계식 펌프를 차례로 끕니다. 이 기간은 약 40 분이 걸립니다.
3. 50 미만이면 유지 보수 펌프를 끄십시오.
