연속 마그네트론 스퍼터링 코팅 생산 라인은 기판(예: 유리, 플라스틱, 금속, 세라믹, 반도체 웨이퍼 등) 표면에 극도로 얇은 기능성 필름을 하나 이상의 층으로 증착하는 데 주로 사용되는 고도로 전문화된 제조 시스템입니다.
고진공 환경에서 다양한 물리적 방법을 통해 코팅 물질을 기화 또는 이온화한 후 기판 표면에 필름으로 응축시키는 것이 핵심입니다.
신청:
전기 부품 세라믹 및 회로 기판 세라믹 표면에 구리, 은 및 기타 전도성 물질을 진공 코팅합니다.
또한 작업물(유리, 아크릴 보드 등)과 같은 다른 판- 표면에 다양한 금속 필름 층을 진공 증착하는 데에도 적합합니다.
주요 기능:
자기장은 플라즈마를 가두어 둡니다
이것이 마그네트론 스퍼터링의 핵심특징이다. 타겟 표면 근처에 특정 모양(보통 고리 모양 또는 경마장 모양)의 강한 자기장을 가함으로써 전자가 타겟 표면 근처에 가두어 나선형 운동을 하게 되는데, 이는 전자가 작동 가스(보통 아르곤) 원자와 충돌 및 이온화될 확률을 크게 증가시킵니다.
높은 이온화율 및 높은 증착율
자기장 감금은 플라즈마 밀도와 이온화 속도를 크게 증가시켜 스퍼터링 공정을 더욱 효율적으로 만듭니다.
이는 상대적으로 낮은 가스 압력과 낮은 스퍼터링 전압/전력에서 기존 DC 스퍼터링보다 훨씬 더 높은 스퍼터링 및 증착 속도를 달성할 수 있음을 의미합니다.
저온 공정
대부분의 에너지는 가스 및 스퍼터 타겟 원자를 이온화하는 데 사용되므로 상대적으로 적은 양의 열이 기판으로 전달됩니다.
좋은 필름 품질
밀도가 좋고 접착력이 강하며 순도가 높고 균일성이 좋습니다.
광범위한 재료 적응성
우수한 공정 제어성
마그네트론 스퍼터링 코팅 생산 라인은 높은 증착 속도, 저온 공정, 우수한 필름 품질(콤팩트하고 강한 접착력), 광범위한 재료 적응성, 우수한 균일성 및 제어 가능성과 같은 핵심 특징과 장점으로 인해 현대 산업에서 기능성 박막(광학 필름, 전도성 필름, 내마모성 하드 필름, 장식용 필름, 부식 방지 필름, 자성 필름, 반도체 필름 등)을 제조하기 위한 주류 기술 중 하나가 되었습니다. 이는 마이크로 전자 공학, 평면 패널 디스플레이, 태양 전지, 도구 코팅, 자동차 부품, 포장, 장식, 광학 장치 및 기타 분야에서 매우 광범위한 응용 분야를 가지고 있습니다.
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