진공 이온 도금 기계는 종종 질량 분석기를 사용하여 코팅 공정을 제어해야하며, 사이클로트론 질량 분석기는 일종의 에너지 균형 질량 분석기입니다. 그것은 직교 고주파 전기장에서 이온의 사이클로트론 공명 현상과 작업 원리로서 DC 자기장에 기초한다. 기본 원리는 Hipple et al. 1949 년에 1951 년, Thomas et al. 먼저 질량 분석기를 개발했습니다. 1954 년, Alpert et al. 초고 진공 청소기 하에서 잔류 가스를 분석하는 데 사용할 수있는 간단한 사이클로트론 질량 분석기를 개발하여 초고 진공 기술의 개발을 크게 촉진했습니다. 1960 년에 Klopfer는 복잡한 사이클로트론 질량 분광계를 개발하여 비수분 이온 공간 전하의 영향을 제거 할 수 있습니다. 질량 분석기의 민감도는 10%이내에 변경되지 않아 정량 분석이 가능합니다. 그러나 파라미터 조정이 어려운 단점, 복잡한 구조 및 내부 전극을 완전히 gpas하기가 어렵습니다.
사이클로트론 질량 분석기의 분석기 및 이온 공급원은 작은 공간에서 공존하기 때문에 전기장은 비자기 이온에 의해 방해됩니다. 따라서, 비자기 이온으로 인한 전기장 왜곡을 극복하기 위해, 복잡한 튜브 타입 사이클로트론 질량 분석기는 간단한 사이클로트론 질량 분석기를 기반으로 개발되었으며, 그 성능은 단순한 사이클로트론 질량 분석기의 성능보다 더 안정적이다.
질량 분석기의 주요 매개 변수는 다음과 같습니다. 민감도 상수, 사이클로트론 공명 주파수, 질량 m+△ m의 비자기 이온이 도달 할 수있는 최대 반경, 공진 이온의 최종 에너지, 공진 이온의 궤적 길이, 공진 이온의 비행 시간 및 공진 이온의 사이클로 트론 수입니다.
장점과 단점은 다음과 같습니다.
1. 장점 : 부품, 얇은 전극, 작은 크기, 아웃가스가 적고 "메모리 효과"등이 적으며, 특히 초고 진공 소량의 잔류 가스 분석에 적합합니다.
2. 단점 : 불편한 작동, 비선형 질량 표준, 자기장 필요, 스펙트럼 라인의 복잡한 자동 기록 및 검출을 위해 전자 승수를 사용할 수 없으므로 최소 감지 가능 압력을 제한합니다.
1960 년, 청두에있는 대학 인 우리 나라는 처음으로 사이클로트론 질량 분석기를 성공적으로 개발했습니다. 1963 년, 중국 과학 아카데미 전자 공학 연구소는 간단한 사이클로트론 질량 분석기의 작업 특성에 대한 자세한 연구를 수행했습니다. 1965 년, 중국 과학 아카데미의 Lanzhou Physics Institute of the Chinese Academy of Sciences는 20%의 정량적 정확도를 갖춘 단순한 사이클로트론 질량 분광기 장비 세트를 개발하여 이온 포도도를위한 질량 분석기의 후속 연구 및 개발을위한 토대를 마련했습니다.
