광학 코팅 기계의 작동 단계에는 여러 링크가 포함됩니다. 다음은 자세한 작동 단계입니다.
1. 예비 준비
기계 상태 확인 :
광학 코팅 기계가 전원 공급 장치, 가스 소스, 냉각 시스템 등이 정상인지를 포함하여 정상 작동 상태인지 확인하십시오.
깨끗한 작업 환경을 보장하기 위해 기계 내부와 기계, 특히 증발 재료 잔류 물을 제거하십시오.
재료 준비 :
고품질 광학 렌즈 또는 코팅 해야하는 기타 재료를 선택하십시오.
금속 표적과 같은 증발 재료를 준비하여 재료의 순도와 품질이 요구 사항을 충족하도록합니다.
장비 준비 :
진공 필름 두께 게이지, 진공 펌프 및 이온 소스와 같은 필요한 코팅 장비를 준비하십시오.
장비가 정상적으로 작동 할 수 있는지 확인하십시오.
환경 준비 :
코팅 챔버가 단단히 닫히고 공기 누출이 없는지 확인하십시오.
청소 유체 및 탈 이온수와 같은 세척 도구, 분쇄, 오염 제거 및 기타 도구를 준비하십시오.
2. 코팅의 사전 처리
세련:
광학 렌즈를 세밀하게 닦아 표면의 작은 우울증과 불순물을 제거하십시오.
청소:
특수 세척 유체 및 초음파 청소 장비를 사용하여 광학 렌즈를 청소하여 표면이 깨끗 해지도록하십시오.
세척 후, 탈 이온수로 헹구어 잔류 청소 유체를 제거하십시오.
진공 가열 :
청소 된 렌즈를 진공 챔버에 넣고 전기 가열로 렌즈를 가열하십시오.
표면에 흡착 된 가스를 증발시키고 펌핑하여 코팅 환경의 청결을 보장합니다.
3. 코팅 작동
프로세스 매개 변수 설정 :
코팅 요구 사항에 따라 증발 온도, 증발 속도, 진공 정도 등과 같은 적절한 공정 매개 변수를 설정하십시오.
증발 과정 :
텅스텐 필라멘트와 같은 증발 소스에 증발 재료를 추가하십시오.
증발 소스를 켜고 증발 과정을 수행하고 활성 원자를 방출하십시오.
필름 증착 :
진공 챔버에 이온 공급원 또는 전자 빔과 같은 에너지 원을 사용하여 렌즈 표면에 증발 된 원자 또는 분자를 퇴적시킵니다.
증착 공정 동안, 진공 필름 두께 게이지를 사용하여 필름 두께를 실시간으로 모니터링하여 미리 결정된 요구 사항이 충족되도록합니다.
보조 난방 :
증착 공정 동안, 보조 난방 기술을 사용하여 필름 층의자가 분해 온도로 기판 표면을 가열해야하며, 이는 필름 층의 축합 및 응고에 도움이된다.
4. 코팅 후 치료
냉각:
코팅 공정이 완료되면 증발 소스 및 이온 소스와 같은 에너지 원을 끕니다.
진공 챔버가 실온으로 자연적으로 식히거나 강제 냉각을 사용하여 냉각 공정을 가속화하십시오.
공작물을 꺼내십시오 :
진공 챔버의 공기압이 정상 압력으로 돌아온 후, 진공 챔버 도어를 열고 코팅 된 렌즈를 꺼냅니다.
청소 및 검사 :
코팅 된 렌즈를 청소하여 표면에 남아있을 수있는 불순물을 제거하십시오.
필름 두께, 균일 성, 광학 성능 등이 요구 사항을 충족하는지 등 코팅 품질을 확인하십시오.
5. 유지 보수 및 관리
반응 챔버 청소 :
반응 챔버의 내부 및 가열판과 같은 성분을 정기적으로 청소하여 잔류 증발 재료 및 불순물을 제거하십시오.
부품 교체 :
장비 사용에 따르면, 증발 소스, 이온 소스 등과 같은 부품을 심각한 마모로 정기적으로 교체하십시오.
유지:
전원 공급 장치, 가스 소스, 냉각 시스템 등이 제대로 작동하는지 확인하는 등 장비에 대한 포괄적 인 유지 보수를 수행하십시오.
코팅 정확도와 안정성을 보장하기 위해 장비를 정기적으로 교정하고 디버깅하십시오.
위는 광학 코팅 기계의 기본 작동 단계입니다. 다른 모델과 사양의 광학 코팅 기계는 다른 특정 작업을 가질 수 있습니다. 따라서 실제 운영 프로세스에서 장비 매뉴얼을 엄격히 준수해야하며 관련 안전 규정 및 운영 절차를 준수해야합니다.
