하나. 확산펌프 오일을 정기적으로 교체하십시오.
디퓨전 펌프 오일은 약 2개월(2교대) 동안 사용됩니다. 장기간-고온-온도 환경으로 인해 확산 펌프가 고진공에서만 작동하더라도 잔류 산소 및 기타 성분이 확산 펌프 오일과 반응할 수 있습니다. 이러한 높은 온도로 인해 확산 펌프 오일이 분해되어 품질이 저하되고 펌핑 시간이 길어질 수도 있습니다. 펌핑 시간이 지나치게 길어진다고 판단되면 교체해야 합니다.
둘. 진공 펌프
기계식 펌프 오일과 유지보수 펌프 오일은 2개월 사용 후 품질이 변합니다. 이는 수분, 불순물, 기타 요인의 혼입으로 인해 발생할 수 있으며, 이로 인해 오일의 점도가 저하되고 진공도가 떨어져 교체가 필요할 수 있습니다. 새로운 장비의 경우, 사용 후 2주 이내에 교체를 완료해야 합니다. 휴식 기간 동안-오일에는 고농도의 철 분진이 포함되어 있어 마모가 증가할 수 있습니다.
삼. 청결과 위생
장비와 주변의 위생을 정기적으로 유지하고, 장비 내외부를 청결하게 유지하며, 주변을 정리정돈하여 좋은 작업환경을 조성하고 안전을 확보합니다.
4. 청소광학 진공 코팅기
일주일 작동 후 코팅 재료는 비방향성 코팅으로 인해 공작물 표면뿐만 아니라 챔버 내부 라이너도 코팅합니다.- 코팅이 점차 두꺼워집니다.
이 필름은 느슨한 구조와 얽힘으로 인해 많은 양의 가스를 흡수하므로 진공 코팅 장비가 공기를 더 느리게 펌핑하게 됩니다. 이때 챔버와 라이너를 청소해야 합니다. 불필요한 분해 부품은 샌딩 처리하여 깨끗하게 제거할 수 있습니다.
라이너는 불산 용액에 담글 수 있습니다. 물에 대한 불화수소산의 비율은 필요한 담금 시간과 라이너에 대한 원하는 효과를 기준으로 결정되어야 합니다. 라이너는 설치 전에 건조되어야 합니다.
건조하기 전에 라이너를 최대한 건조하게 닦으십시오. 작업 프레임과 기타 구성품을 사포로 청소한 후 진공 챔버의 모든 먼지를 제거하십시오. 이것은 진공청소기로 할 수 있습니다.
마지막으로 라이너를 설치할 때 진공 챔버와 라이너를 모두 알코올-로 제어되는 천으로 청소해야 합니다. 코팅을 돕기 위해 전자총과 이온 소스를 사용하면 청소가 어려울 수 있습니다. 샌드블라스팅이나 기타 청소 방법을 사용할 수 있습니다.
