모든 고체 물질은 대기 중 일부 가스를 용해하고 흡착합니다. 진공 상태에 놓으면 이러한 물질은 탈착을 통해 가스를 방출합니다. 탈기 속도는 재료의 가스 함량에 비례합니다. 가스 조성, 온도, 탈착 시간은 재료에 따라 다릅니다.
펌프마다 구성이 다른 가스에 대한 펌핑 속도가 다릅니다. 진공 배기 시 가장 먼저 배기해야 할 것은 용기 안의 분위기입니다(이 가스는 빠르게 배기되며, 10-1Pa에서는 퍼니스가 본질적으로 완전히 고갈됩니다). 그 다음에는 재료 표면에서 탈착된 가스, 재료 내부에서 표면으로 확산된 가스, 용기 벽을 통해 진공 속으로 침투하는 가스가 이어집니다.
따라서 제품이 용광로에 들어간 후에는 절연 및 탈기되어야 합니다. 이는 제품이 용광로에 들어가기 전에 일부 불순물 가스를 흡수하기 때문이며, 이러한 가스가 제품 표면에서 탈착될 수 있도록 적절한 가열을 사용해야 합니다. 스테인레스 스틸을 예로 들면, 표면에 흡착된 가스 외에도 지속적인 가열 및 단열 과정에서 일부 가스가 강철에서 방출됩니다. 이러한 가스의 존재는 필름의 순도와 색상에 큰 영향을 미치는 경우가 많으며 필름 층의 접착력에도 큰 영향을 미칩니다.
위의 소개에서 진공 코팅 기계에 가열 액세서리가 필요한 이유를 알아야 합니다. 필요한 진공 환경을 달성하고 고품질 필름 레이어를 증착하려면 진공 코팅 기계 챔버에 가열 액세서리를 구성하는 것이 필수적입니다.
